脆性材料を加工する場合、主として、靭性の高い砥粒とボンドのダイヤモンドホイールを用いて、ガラス（SiO2）、シリコン（Si）、セラミックス（Al2O3、SiC）などの硬脆材料に、穴加工（図１）、溝加工（図２）、切断加工（図３）、面取り加工（図４）などを施す際に適用される。穴加工の場合、穴径が比較的大きい通り穴のときは切りくずの排出と加工部分の冷却のために内部給油法がとられる。ダメージが少なく滑らかな穴壁面となる。溝加工の場合、溝底面に垂直に振動しているため底面の粗さの向上は期待できないが、溝側面では砥粒の切込みの減少により延性モードに変換し、ガラスやシリコンの加工に適用されている。どちらも加工能率が向上することとダメージを受ける範囲が狭くなるのが特長である。延性材料を加工する場合は、キャビテーションによる目づまりの防止や研削時の摩擦低減によって研削抵抗の減少が期待できる。