メカトロニクス・精密機器

精密位置決め

精密位置決め ( Precision Positioning ) は、テーブルや工具などの対象物の位置を「精密」[1]に制御することであり、精密機械分野でよく用いられる用語である。この分野では、「精密」に特別な意味を付加して用いられ、「位置決め」はしばしば広い意味で利用される。

詳細

用語の使い方

「精密」は、動作範囲や測定範囲などの対象範囲を基礎に議論されることもあるが、精密機械分野では、誤差そのもので議論される。「位置決め」は、間欠位置決めだけでなく、軌跡制御を含めた位置制御の総称としてしばしば用いられる。したがって、精密位置決めは、絶対的な誤差が小さい位置制御を意味し、誤差が10μm以下の位置制御を指すことが多い[2]。

超精密位置決め

精密位置決めよりも高い精度を議論する場合は、「超精密位置決め」が使われる。通常誤差が10nm以下の場合の位置制御で用いられる。

位置決め時間

　※ 引用[3]参照

誤差を短時間で収束させることは、位置決めにおいて重要である。線形系では整定時間で評価されるが、多くの位置決め機構は非線形特性をもつ。そのため、収束範囲が絶対的な大きさで議論され、ステップ高さを特定して評価される。その定義は目標仕様に左右されるため、注意が必要である。

関連項目

外部リンク

引用

  1. 公益社団法人 精密工学会 Precipedia, 精密工学.
  2. 精密工学会超精密位置決め専門委員会アンケート小委員会，超精密位置決めアンケート報告書 (2015).
  3. 実用精密位置決め技術事典編集委員会編，位置決めシステムに求められる性能と評価指標，実用精密位置決め技術事典，産業技術サービスセンター (2008) 338-345.
執　筆 ： 佐藤　海二

PV数 : 90

3．メカトロニクス・精密機器用語