細穴放電加工 ( Small Hole Electrical Discharge Machining ) とは、放電現象を用いた細穴（細孔）もしくは、微小径の穴あけ加工のことである。
ここでの細穴（細孔）の定義は、直径3mm以下の穴とする。
図1にSUS304に対して直径100μmの細穴放電加工したSEM像を示す。

　細穴放電加工は、放電現象を利用した微小径の穴あけ加工である。ドリル加工では困難な高硬度の焼入れ鋼や超硬合金、さらに難削材（タングステン、チタン、モリブデン、など）に対して高精度に加工することが可能である。また放電加工は、加工対象を溶融させながら加工するため切削加工などにみられるバリの生成が少なく、容易に高精度な加工が実現できる。 細穴放電加工は、一般的な放電加工機と異なり、微小なパルスエネルギを生成できる専用の電源を備えた細穴放電加工機を用いる。要求する穴直径より細いパイプ電極（放電ギャップを考慮する必要がるため）を用い、パイプから液を吐出させることで細く深い穴加工を実現する。ただし市販されているパイプ電極は、直径約0.1mmまでであるため、直径0.1mm以下の細穴においては、棒（無垢）電極を用いる必要がある。また電極を回転させるため、軸の偏心、振動を抑制することが重要となる。

　さらに小径の細穴放電加工を実現するには、放電のパルスエネルギの微小化が要求される。また、高精度な微小径の電極を準備することが必要となるため、放電加工法を応用した電極成形法が広く実用化、研究されている。ガイドに沿って移動するワイヤを電極として用いた、ワイヤ放電研削法(WEDG法)が実用化されている^[1,2]。

　走査放電加工法による軸成形法が研究されており、細く長い軸が、短時間かつ高精度に成形できる^[3,4]。図2に、走査放電加工法によって成形された軸のSEM像を示す。また図3に、走査放電加工法による軸成形法によって成形した軸を用い、細穴放電加工したSEM像を示す。直径10μmの微小径の細穴が加工されている。

電極

材料：銅、黄銅、銅タングステン、WC、その他
形状：棒（無垢）、パイプ、特殊形状
図4に市販されている電極の一例を示す。左から、WC-棒、黄銅-パイプ、銅-棒、銅-パイプ、銅-特殊形状、である。

アスペクト比（L/D）

アスペクト比とは、穴の直径に対する深さの比（深さL/直径D）のことである。
このL/Dで10倍を超える穴あけを深穴加工という。一昔前のドリル加工においては、L/Dで10倍以上の穴加工は困難であったため、放電加工が深穴加工に用いられることが多かった。現在、切削工具の発展によって、ドリル加工においてもL/Dで20倍以上の加工が可能となっている。