6．材料・表面プロセス パルスプラズマCVD法
パルスプラズマCVD法 ( Pulsed Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) は、プラズマCVDにおいて、プラズマを発生させるために定常放電ではなく、電力供給を周期的にON／OFFさせるパ...続きを読む
用語
6．材料・表面プロセス 4．精密計測 光コム計測
光コム計測 ( optical comb based metrology ) は、光コムレーザー光源を用いた計測技術である。 詳細 光コムはパルスレーザーの一種である。時間領域で見ると、光コム光源はパルス列を発している。パルス列は等時間間隔...続きを読む
2．精密加工 微細放電加工
微細放電加工 ( Micro EDM ) は、放電加工を微細加工に適用するために、微細な工具電極を用い、微小な放電エネルギーにより微細な形状(500μm以下)を加工する技術である。エンジンの燃料噴射ノズル、化学繊維の成形ノズルの穴加工、電子...続きを読む
2．精密加工 被削性
被削性 ( machinability ) とは、切削対象材料の削られ易さを示す。 詳細 一般に、①切削抵抗の大きさ、②工具寿命の長さ、③加工後の寸法精度と表面品位、④切りくず処理の容易さの４項目を基にして被削性が評価される。これらの項目...続きを読む
1．設計・生産システム 美的曲線
美的曲線 ( log-aesthetic curve ) は、\(α\)というパラメータによって、クロソイド曲線\( (α=-1) \)、Nielsenのらせん\( (α=0) \)、対数らせん\( (α=1) \)、円のインボリュート曲線...続きを読む
2．精密加工 ピーリング工具
ピーリング工具 ( Peeling tool ) は、放電加工に用いる微細工具電極である。工具となる細線ワイヤの周囲を異なる金属で同一円筒状に被覆した構造である。 詳細 微細放電加工を行うには、工具電極の直径も微細である必要がある。とりわけ...続きを読む
2．精密加工 フェムト秒レーザ
フェムト秒レーザ ( femtosecond laser ) とは、パルス幅が10-15秒オーダの超短パルスレーザである。計測や微細加工分野への応用が報告されている。 詳細 フェムト秒レーザ パルス幅10-15秒オーダの超短パルスレーザであ...続きを読む
6．材料・表面プロセス プラズマCVD
プラズマCVD ( plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD ) は、種々の機能薄膜の形成に用いられる化学気相成長(CVD)法の一種であり、化学反応を活性化させるエネルギー源として反応...続きを読む
2．精密加工 プラズマCVM
プラズマCVM ( Chemical Vaporization Machining ) （あるいは Plasma CVM、PCVM）は、通常は低圧で生成されるプラズマを大気圧もしくは数十分の1気圧から10気圧程度の高圧力下で生成し、プラズマ...続きを読む
2．精密加工 偏光計測
偏光計測 ( Polarization mesurement ) とは、光の性質である偏光を被検物に入出射することで得られた偏光状態を、偏光素子を変調することで解析し、物体の表面あるいは内部構造を計測する手法である。 詳細 物体に入出射し...続きを読む
1．設計・生産システム ポストプロセッサ
ポストプロセッサ( Postprocessor ) の Post- はラテン語で「後」、プロセッサ ( Processor ) は「処理をするもの」 という意味であるから、ポストプロセッサは前のプロセッサの後処理をするものという意味である。...続きを読む
2．精密加工 細穴放電加工（細孔）
細穴放電加工 ( Small Hole Electrical Discharge Machining ) とは、放電現象を用いた細穴（細孔）もしくは、微小径の穴あけ加工のことである。ここでの細穴（細孔）の定義は、直径3mm以下の穴とする。図...続きを読む
1．設計・生産システム ボールバー
ボールバー ( ball bar ) は、変位計を内蔵した伸縮自在な棒の両端に取り付けた二つの球の間の相対変位を検出する測定器で、主にNC工作機械の運動精度測定に使用されている。ボールバーの二つの球は、磁石を使った3点接触のソケットを介して...続きを読む
2．精密加工 マイクロマシン／ナノマシン
マイクロマシン ( Micro machine ) は、μｍサイズの機械をさして呼ぶ。 ナノマシン ( Nano machine ) は、nｍサイズの機械をさして呼ぶ。マイクロマシンは半導体技術を用いてMEMS（メムス、Micro Elec...続きを読む
2．精密加工 マイクロメカニズム
マイクロメカニズム( Micro-mechanisms ) は、従来のサイズに比べて小型化されることにより新たな特性が付与されたり、性能が向上する機械システムのことを指す。このため、1mm以下の機械システムだけではなく数cmサイズからnｍサ...続きを読む
1．設計・生産システム メッシュ処理
図1 メッシュ処理 ( Mesh Processing ) とは、幾何形状・領域を一次近似・表現するポリトープ ( polytope ) 網を計算処理する事である。ここでポリトープとは、一般化された図形であり、例えば零次元から三次元までのポ...続きを読む
3．メカトロニクス・精密機器 力覚
力覚( force sensation ) とは、五感情報のうち触覚情報に関係する感覚で、主に物体と接触した際に人間が感じる力感覚のことを指す。 詳細 人間が有する五感情報（視覚、聴覚、触覚、味覚、嗅覚）のうち、力覚情報は触覚情報と関連する...続きを読む
3．メカトロニクス・精密機器 力覚フィードバック
力覚フィードバック ( force feedback ) とは、システムが物体と接触した際の力覚情報を人間に対して帰還し、知覚させることである。 詳細 力覚フィードバックにおいては、疑似環境からの力覚信号をコンピュータ内でシミュレートして生...続きを読む
2．精密加工 ループ剛性
ループ剛性 ( Loop stiffness ) とは、工具－工作機械－工作物で構成される力学的閉ループ構造の剛性である。主に工具－工作物間のループ剛性 ( Tool-workpiece loop stiffness ) のことを指す。 詳...続きを読む
2．精密加工 レーザスライシング
レーザ光線が材料を透過する特性と、吸収される特性を同時に利用することで、材料内部にレーザ照射による変質層を形成し、これを基に剥離させる加工法をレーザスライシングと呼ぶ。ダイヤモンドやSiC、GaNなどの半導体基板材料、レンズ用ガラス材料など...続きを読む