2．精密加工 超音波振動加工
超音波振動加工 ( Ultrasonic vibration-assisted machining ) は正確には超音波振動援用加工と呼ばれ、加工性能や加工精度を高める目的で行う加工法である。本加工は、約20kHz以上の周波数帯域の電力を圧...続きを読む
材料・表面プロセス
2．精密加工 2．精密加工 超音波振動研削
超音波振動研削 ( Ultrasonic vibration-assisted grinding ) は、超音波振動を砥石または工作物に加え、研削加工の高性能化を図る方法である。 この方法では、超音波振動の作用により（１）工作物の微細な破壊...続きを読む
2．精密加工 超精密加工
超精密加工 ( Ultraprecision Machining ) とは、極めて小さい表面粗さと極めて高い寸法・形状精度を同時に達成する加工である。 詳細 超精密という用語は絶対的ではなく、加工物の寸法や形状、応用分野そして時代によってそ...続きを読む
2．精密加工 超精密研磨
超精密研磨 ( Ultraprecision Polishing ) とは、サブミクロンオーダの形状精度とナノメートルオーダの表面粗さを達成する研磨加工である。 詳細 研磨粒子を工具（ポリシャ）によって一定の圧力で工作物に押し付けながら相対...続きを読む
2．精密加工 超精密切削
超精密切削 ( Ultraprecision Cutting ) とは、一般的な加工に用いられるものより精度の高い加工機と鋭利な切削工具を用いて、極めて微小な切取り厚さで行う切削加工であり、寸法誤差がサブマイクロメートルオーダ以下のものを指...続きを読む
6．材料・表面プロセス 濡れ性
濡れ性( wettability ) とは、主として固体表面に対する液体の親和性（付着しやすさ）を表すものである。 液体が水の場合には、濡れ性は親水性や疎水性という言葉でも表される。 詳細 接触角 濡れ性は接触角（図１）の大小で評価されるこ...続きを読む
6．材料・表面プロセス パルスプラズマCVD法
パルスプラズマCVD法 ( Pulsed Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) は、プラズマCVDにおいて、プラズマを発生させるために定常放電ではなく、電力供給を周期的にON／OFFさせるパ...続きを読む
2．精密加工 ピーリング工具
ピーリング工具 ( Peeling tool ) は、放電加工に用いる微細工具電極である。工具となる細線ワイヤの周囲を異なる金属で同一円筒状に被覆した構造である。 詳細 微細放電加工を行うには、工具電極の直径も微細である必要がある。とりわけ...続きを読む
6．材料・表面プロセス プラズマCVD
プラズマCVD ( plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD ) は、種々の機能薄膜の形成に用いられる化学気相成長(CVD)法の一種であり、化学反応を活性化させるエネルギー源として反応...続きを読む
2．精密加工 細穴放電加工（細孔）
細穴放電加工 ( Small Hole Electrical Discharge Machining ) とは、放電現象を用いた細穴（細孔）もしくは、微小径の穴あけ加工のことである。ここでの細穴（細孔）の定義は、直径3mm以下の穴とする。図...続きを読む