超精密研磨 ( Ultraprecision Polishing ) とは、サブミクロンオーダの形状精度とナノメートルオーダの表面粗さを達成する研磨加工である。

詳細

研磨粒子を工具（ポリシャ）によって一定の圧力で工作物に押し付けながら相対運動させることで、研磨粒子と工作物との干渉によって材料除去が行われる。加工量は加工時間で制御するため、いわゆる圧力転写加工法に属する。形状精度を高めるために、通常研磨後に工作物の形状を測定し、その結果を次の研磨工程に反映させる補正研磨を行う必要がある。また、超精密研磨は半導体ウエハや非球面光学部品金型など高品質加工に用いられることが多いため、形状精度や表面粗さ以外にも加工変質層の極めて少ない加工が求められる。そのため、研磨過程に化学反応を積極的に導入し、加工変質層を除去するいわゆる化学的機械研磨 ( Chemo-Mechanical Polishing ) が行われている。