マイクロマシン ( Micro machine ) は、μｍサイズの機械をさして呼ぶ。 ナノマシン ( Nano machine ) は、nｍサイズの機械をさして呼ぶ。マイクロマシンは半導体技術を用いてMEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems） として製品も作られているが、ナノマシン（NEMS）は今後の研究開発が待たれる分野である。
詳細
マイクロマシンは、MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems の略）とも呼ばれ、主にSiを材料として半導体プロセスを用いて３次元加工することで作製したμｍサイズのセンサ・アクチュエータ・機構である。加速度センサやプロジェクタ用マイクロミラーなど実用化され製品として世の中に使われている。これに対し、ナノマシン （NEMS）はnmサイズと、さらに小さく、分子レベルのサイズとなる。３次元構造物は、光造形法の特に分解能の高い装置により作成できるものの、動くものは困難である。そこで、分子レベルのサイズで駆動している生物の仕組みを解明し、ナノマシンを作る参考にしようという動きがある。具体例として、バクテリアの鞭毛モータ・筋肉の運動に関与しているタンパク質であるミオシンなどが研究対象として解明されつつある。これらは分子モータと呼ばれ、大きさが10nmほどである。これらと同様の機構と動き、あるいは、これらからヒントを得た別の化学的反応と機構であっても同様に動くものを、人工的に作ることができれば、ナノマシンとなりうる。
関連項目
執 筆 ： 伊藤 高廣