超精密研削 ( Ultraprecision Grinding ) とは、サブミクロンオーダの形状精度とナノメートルオーダの表面粗さを達成する研削加工である。
詳細
超精密研削には位置決め精度、剛性、スピンドルの回転振れなどが優れた超精密研削盤が用いられる。形状精度を高めるために、研削後に工作物の形状を測定し、その結果を次の砥石送りに反映させる補正研削を行う必要がある。この補正研削を効果的に行うためには砥石摩耗の影響を小さくする必要があり、そのために円弧包絡研削法などが提案されている。また超精密研削は非球面や自由曲面などの光学部品あるいはそれらの金型の加工に用いられることが多いため、形状精度の他にも粗さ、うねり、均一性の全てを良好にすることが求められる。良好な研削面粗さを得るために、パラレル研削法やELID研削法等の手法が提案されている。さらに平滑な研削面が得られる研削条件を理論的に導き出すための統計的研削理論や、うねりや均一性を向上させるための超安定研削法なども提案されている。また砥石に対しても砥粒の粒径が均一であることや分散が均一であることが求められ、その製法をはじめツルーイング・ドレッシング法に関しても検討がなされている。