磁気粘弾性流体研磨(MRF)
磁気粘弾性流体とは、磁性体と研磨剤を含んだ流体を磁場の作用で粘弾性を持たせたものを言う。MRFは磁気粘弾性流体研磨(Magneto-Rheological Finishing) の頭文字で、磁気粘弾性流体を用いた研磨技術を言う。ガラスや結晶材料、セラミクス、金属などの光学部品が主な研磨対象となる。実際の研磨では、回転するホイールの赤道上を流れる磁気粘弾性流体が磁場の作用でまず磁性体部分が研磨面から遠ざかる方向（ホイール側）に寄り、研磨剤成分が滲み出る。そこに被研磨面を沈めることで研磨剤成分が研磨面上を流れ、面に平行な剪断力を及ぼし研磨を行う。この研磨領域のサイズは概ね１～２０ｍｍ程度である。この際磁性体成分は直接面への物理的作用は行わないが、研磨剤成分を（ピッチ研磨のピッチのように）サポートし被研磨面に微小な圧力を加える役割をする。このときの圧力分布で研磨領域の研磨形状が決まる。MRFでは流体の物理的な特性（粘度、温度）と幾何学的な位置関係（流体と被研磨面の距離や形状）が一定であれば研磨レートの経時変化が極めて少ない。したがってあるワークの研磨特性（研磨レート）がひとたび解れば、それを用いて計算通りの研磨ができ、高精度な光学面を得ることができる。また流体であるため、平面や球面以外の面形状（非球面、自由曲面）にも馴染むため、研磨ツール形状を都度工夫する必要なく球面と同感覚で研磨をすることができる。
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詳細
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引用
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