M4プロセス
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M4プロセス ( M4 Process ) とは，Micro／Meso Mechanical Manufacturing の略語である．
詳細
M4プロセスは，サブミリサイズの構造体を超精密創成するためのマイクロ機械加工プロセスの総称である．例えば，マイクロ非球面レンズ金型のマイクロ研削加工，マイクロ3次元切削，マイクロER 流体援用研磨加工，硬脆材料を微細加工するためのマイクロアブレイシブジェット加工およびマイクロ超音波加工などが挙げられる．
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