産業用X線CT

産業用X線CT(Industrial X-ray CT)とは、機械部品などの検査や寸法測定を行うにあたり、測定物に対して多方向からX線を照射して断面像を得る技術である。X線の透過を利用した測定方法であるため、物体の概形に加えて内部構造も測定可能な点が特長である。

詳細

装置

X線CT装置の概念図

スキャンの方式としては、検出器が1次元のファンビーム型と、検出器が2次元のコーンビーム型が代表的である。図1にコーンビーム型方式の模式図を示す。ファンビーム型は1回転で1断面のみスキャン可能なのに対して、コーンビーム型は1回転すれば全ての断面にあたるボリュームを取得できるため測定スピードに関して大きなアドバンテージがある。一方で、検出器が1次元である場合にはX線の散乱線対策であるコリメータの構築が容易であり、特に散乱線の影響が大きい高エネルギX線源を用いる装置ではファンビーム型が採用されることが多い。

データ処理

X線CTのデータ処理

装置からの直接的な出力はX線の投影データ（サイノグラム）であり、計算機上でCT再構成を行うことにより断面像（トモグラム）を得る。寸法計測のために形状データが必要な場合には、断面像上で注目する物体とそれ以外の領域の境界面をポリゴンメッシュとして抽出する。図2にこれらの処理の例を示す。

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