研磨剤(Slurry)

研磨剤 ( Slurry ) は、ラッピングやポリシングにおいて工作物と工具を擦り合わせる際に供給される。一般には、砥粒を水に分散させた状態にあり、そのなかに界面活性剤、防錆剤、沈降防止剤、凝固防止剤などを混入することがある。

詳細

研磨剤の供給法には、循環式の連続供給、掛け捨ての間歇供給、スプレー供給などが用いられる。工作物の材質や要求される加工品質などにより様々な条件が選択されていて、例えばシリコンウエハの最終仕上げ研磨では、市販のコロイド状シリカを超純水で数倍希釈し、凝固防止剤を添加して掛け捨ての連続供給を採用している。また、工具鋼などの研磨では、ダイヤモンド砥粒を低粘度の油に分散し、スプレーで間歇供給している。砥粒を用いない化学研磨や電解研磨では、用語として研磨剤でなく研磨液を用いることが多い。

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