− | 変位計配置の角度間隔により、検出不能、もしくは、精度劣化する形状の空間周波数成分が現れる<ref name="ref2">高ら,”ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究-混合法と3点法のシミュレーションによる比較”,精密工学会誌60, pp.106-110, 1994.</ref>ことに留意する必要があるが、変位計の代わりに角度計を用いることで、このような問題を軽減もしくは除去する方法<ref name="ref2"></ref><ref>W.Gao, et al, “A new multi-probe method of roundness measurements”, Prec. Eng. 19,pp. 34-45, 1996.</ref>が提案されている。
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− | 真円度測定における三点法の拡張したものと考えることもできるが、測定対象物の形状を周期関数で表すことができないことが、形状導出時の問題となる。また、真円度測定では問題とならない、ゼロ点ずれと呼ばれる複数の変位計間の原点ずれが形状誤差の原因となる。前者に対しては、窓関数をかけることや形状曲線の補間をすることで、後者に対しては、反転測定を組み合わせること<ref>4.W.Gao, et al, “Precision measurement of cylinder straightness using a scanning multi-probe system”, Prec. Eng. 26, pp.279-288, 2002.</ref>や、測定系に角度計を加えること<ref>5.C.Elster, et al, “Coupled distance sensor systems for high-accuracy topography measurement: Accounting for scanning stage and systematic sensor errors”, Prec. Eng. 30, pp. 32-38, 2006.</ref>で、軽減もしくは除去する方法が提案されている。3つの変位計の代わりに2つの角度計を用いる方法<ref>http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2014/pr20140724/pr20140724.html</ref>や、変位計と角度計を組み合わせる方法<ref>清野ら, “鏡面形状のオン・マシン形状測定に関する研究-測定原理およびセンサの基本性能”, 精密工学会誌58, pp.247-252, 1992.</ref>も提案されている。
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